從（cóng）鮑斯、愛德華、萊寶選型進行比較，談天局部真空泵在半超導體業務領域的投（tóu）入實際使用

上次跟蘇州某12英尺晶圓中（zhōng）試線的生產工藝工程師碰（pèng）了關於三次，他們本年度擴產（chǎn）要采27台局部真空泵，老（lǎo）線事先圖省心全用的進行門首輕微品牌名稱，本年度廠務進行預（yù）計砍了20%，想做一（yī）部分國貨代（dài）替，但（dàn）又怕泵出實際問題產（chǎn）生相應作用良率，迷（mí）迷怔怔得很。剛剛借這一（yī）事，把局部真空泵（bèng）在半超（chāo）導（dǎo）體（tǐ）業務領域的（de）投入實際使用論理，還有（yǒu）幹流（liú）品（pǐn）牌名（míng）稱的適配性說透，免得大家選泵的期間踩坑（kēng）。

半超導體業（yè）務領域對局部真空泵（bèng）的具體要求，真並非“能抽局部真空就行（háng）”

許許多多（duō）非生（shēng）產工藝崗的人，認為半超導體用泵就是說具體要求局部真（zhēn）空度高，夠意思全部（bù）並（bìng）非。半超導體生產分前道、後道關於幾十道生產線，有所區別工位的工況天差地別，對泵的（de）具體要求差了關於十萬八（bā）翻一番。歸納沒意（yì）思關鍵部分具體要求就關於四個，缺其中一個都比較容易出實際（jì）問（wèn）題：

• 較為範圍局（jú）部真空配（pèi）合度：進行諸如ALD亞原子層澱積物有必要1e-7Pa上述的高局部真空，管理確保（bǎo）地膜的平均性，然後道塑封生產線隻有必要1Pa身（shēn）邊人的中局部真空就行，選錯了或者多耗兩三倍的電（diàn），或者達達到生（shēng）產工藝具體要求進行引起良率需要
• 耐破壞性：刻蝕（shí）、PECVD等前道生產線會形成很多含氟、含氯的生產工藝廢氣，普通生鐵泵（bèng）腔用沒完（wán）沒了3個（gè）月就會被破壞（huài）穿，漏進空氣直來直去整（zhěng）爐晶圓報關
• 抗細顆（kē）粒物造成汙染（rǎn）：刻蝕、離子化流入生產線會（huì）形成矽（guī）粉、非（fēi）金（jīn）屬液（yè）化物（wù）細顆粒物，如果參加泵腔（qiāng）破壞轉子，局部真空度會在關於一（yī）周內（nèi）掉其中一個數額級，細顆粒物還或許灌溉進腔室造成（chéng）汙染晶圓
• 進行維護學期保持穩定性：晶（jīng）圓廠停線1鍾頭的破財（cái）較為普遍在6位數，局部真空泵的較為普（pǔ）通（tōng）無運行故障時段（MTBF）是比進行采購價十（shí）分重要10倍的參照，許許多多進行采購隻看形式參數不看MTBF，踩坑的蓋然性進行進步80%

幹流品牌名稱（chēng）在半超導（dǎo）體生產線的適配性進行比較，別買錯了

當前半超導體業務領域（yù）用的幹流泵型（xíng），大體上就是說我們常做的愛德華、萊寶、鮑斯、睿寶這小意思品牌名稱，不仍然存在哪位品（pǐn）牌名稱全（quán）阿（ā）彌陀佛碾壓，都是各有各的主要優勢工位（wèi），選關於（yú）對了省錢又（yòu）省（shěng）心（xīn），選錯了（le）就是說給自身求職。

先說愛德華，當前中國大陸12英尺晶圓線的前（qián）道（dào）關鍵部分生產線，愛德華（huá）的幹泵市占率的確高，並非（fēi）說它（tā）並（bìng）未代替品，是它麵向半超導體前道的工況做了許許多多麵向性（xìng）設計。進行諸如刻蝕生產線用（yòng）的（de）幹泵，全部過流（liú）流道都做（zuò）了較為額外逐步鈍化采用相應辦法解決，能扛住接連不斷12個月抽含氟廢氣，前置的龍卷風式細顆粒物捕集器能加以過濾99%上述的10μm上述矽細顆粒物（wù）。我們事先給某廠交替同規格（gé）的泵，刻蝕工（gōng）位（wèi）的進行維護學（xué）期（qī）從戛戛獨造的8個莊稼歌到了14個月（yuè），正常運（yùn）轉階段較為範圍局部真空始終保持穩定在5e-2Pa，全（quán）部符（fú）合生產工藝具體要求。自（zì）然如此它的毛病也很（hěn）顯著，進行采（cǎi）購價是國貨同抽速泵的2-3倍，進行維護零配件也貴（guì），用在後道生（shēng）產線全部是（shì）奢（shē）侈（chǐ）浪費使用（yòng）性能。

轉變源於自（zì）我萊寶，萊寶的主要優勢是高局部真空段的產品，進行諸如地膜澱積（jī）物、離子化流入工位用的積極分子泵，協同配合它的（de）旋片式前級泵，較（jiào）為範圍局部（bù）真空能保持穩定在1e-7Pa，並且進（jìn）行波動進行控製得尤其好。許許（xǔ）多多對微（wēi）進（jìn）行波（bō）動臉皮薄的光刻四麵八方局部真空工位，萊寶的積極分子泵組（zǔ）是（shì）優選，雖然貴一些也沒人敢隨隨便便換，一直光刻（kè）的對準精（jīng）確程度具體要求（qiú）是（shì）納米級，泵的進行（háng）波動大一些直來直去進（jìn）行引起對準表現誤差。它的幹泵夠（gòu）意思也能可用於半超導體（tǐ），但性價比與（yǔ）其愛德華，因此通常我們隻優先推薦高局部真空實際需要的工位選萊寶的泵組，中低局部真空就沒很有（yǒu）必要花（huā）這一（yī）錢。

接下來（lái）是鮑斯，許（xǔ）許（xǔ）多多人對鮑斯的記憶還需要在空壓機，夠意思它的幹式螺釘泵這程子關於兩年在半超導體後道（dào）包括的（de）有關用量漲得飛躍。進行（háng）諸（zhū）如塑封、鍵合、切（qiē）筋上述這些後（hòu）道工位，對（duì）耐腐具體要求不高，較為範圍局部真空（kōng）隻需1Pa內心裏就行，鮑斯的同抽速（sù）幹泵，進行采（cǎi）購價左不過愛德華的有些某（mǒu）個（gè），保護成本也低。我們（men）給小半家權力半超導體包括廠換了隨後，接連不斷正常運轉20000鍾頭並未加以出過運行故障，全部能符合後道的生產工藝具體要求，是當前國貨代替的（de）幹流（liú）挑選。

最終是睿寶局部真空，睿寶重點做局部真空係統統一和檢漏（lòu）設備，半超導體包括後（hòu）的氦質譜檢漏工位，睿寶的檢漏係持續統配合萊寶或是（shì）鮑斯的前級泵，檢漏精確程度能到1e-12Pa·m³/s，比進行門首的檢漏係統適當近半數，當前許許多多車規級半超導體廠的檢漏線（xiàn）都在用，保持穩定性全部夠。

半超導體選泵的關於兩個經（jīng）常（cháng）出現有關誤區，別踩坑

這關（guān）於兩年進行聯（lián）係了加以不下30家半超導（dǎo）體廠的進（jìn）行采購和生（shēng）產工藝，見過頂多的坑就是說關於兩個頂點：唯進行門首論和唯廉價論。

事先有個做加以分立機件的廠，進行采購不懂生產工藝，認為進行門首泵就是說好，後道塑封工位全上了愛德華的（de）耐腐幹泵，關於（yú）一台貴了關於兩萬多，年份采10台就是（shì）說20萬的受委屈錢。夠意思塑封生產線（xiàn）的廢氣（qì）左不過（guò）少部分環氧合成樹脂作為分，並未破壞性，普通國貨幹泵全部足夠，多花的錢著名是奢侈浪費。

另外還有反過來的，前（qián）關（guān）於兩年有個區域建廠的晶圓（yuán）廠，為的是省費用成本，前道刻蝕工（gōng）位用了並（bìng）未做逐步鈍化采用相應辦法解決的普通國貨幹泵，達到3個月泵腔就（jiù）被含氟廢氣破壞穿了，漏了空氣（qì），一爐12英尺晶（jīng）圓全（quán）廢，直來直去破財關（guān）於幾十萬，比省的泵（bèng）錢多了關於十幾（jǐ）倍，還進行阻斷了關於半個月的生產能力。

我們做具體方案的期（qī）間，向來進行不肯硬推貴的或是適當的，都是按每張工位的生產工藝固體本人成分、較為範圍局部真空具體要求、細顆粒物容量來配合，算全進行生活學期的費用成本。事（shì）先我們在（zài）www.517023.com上刷新過大會半（bàn）超導體進（jìn）行單幹序局（jú）部真空選型的對比表，貼標簽了有所區（qū）別工位的優先推薦泵型和進行理會須知，老鼻（bí）子生產工藝工程師加以下過進行商量。

給半（bàn）超導體業務領域選泵的一些真實情況提出建議

當前半超導體業務領域的費用成本管控越來越嚴，局部真空係統的能耗和保護（hù）成本夠（gòu）意思占（zhàn）了廠務說七說八15%身邊人，許許多多廠都（dōu）沒高度重視。選（xuǎn）泵的期間使不得隻看進行采購價，要算3年的組合體本（běn），包含電費、進（jìn）行維（wéi）護費、秘密的停線破財。

前道關鍵（jiàn）部分的（de）刻蝕、地膜澱積物、離子化流入工位，進行先鞭選較為完善的進行門首品牌名稱，把MTBF參加老大位，使不得省那點進行采購錢，一直停（tíng）關於（yú）一次線的破財夠（gòu）討好幾台（tái）泵。後道包括、開展檢（jiǎn）測上述這些對局部真空具（jù）體要求不高的生產線，全部能夠用國貨泵，費用成本能降（jiàng）半數上述，保持穩定性也進行足額。除此之外盡可能使（shǐ）不得全用相同個品牌名稱的泵，有所區別品牌名稱的主（zhǔ）要優勢工位（wèi）不同樣，結合進行比賽沒意思，從整（zhěng）體上看費用成本能降30%上述（shù），保持穩定性還進行不肯持續打折扣。

上次那一個（gè）晶圓（yuán）廠的具體方案（àn）最終定的是：前道8台刻蝕用愛德華幹泵，12台（tái）中低局部真（zhēn）空的開展檢測工位用（yòng）鮑斯螺釘泵，7台高局部真（zhēn）空的地膜（mó）澱積物用萊寶積（jī）極分子泵（bèng）組，算沒意思比全用進行（háng）門首的省了42%的進行采購費用成本，保護成本進行預（yù）言降（jiàng）35%，當前目前已經進（jìn）場進行調試了。

夠意思（sī）局部真空（kōng）選型向來並未不過的，左不（bú）過最適配的，多花點時段具有每張工位的工況形式參數（shù），比裏裏外外比價準備的多。在滿足相關條件時你（nǐ）們廠也在做局部真空係統的降本，沒關係先把每張工位的生產工藝具（jù）體要求列入來，再與之（zhī）對應找泵型，別以至於就定品牌名稱（chēng）。