談天局（jú）部真空泵在半超導體業務領域的投入實際使用：從刻蝕生產工藝的痛點說開

上（shàng）個月去蘇州工業園（yuán）區集團做12寸較（jiào）為先（xiān）進包括的工場采（cǎi）用相應辦法解決運行故障，他們的幹法刻蝕生產線這（zhè）程子良率較（jiào）為驟讀掉了2.8個百分點，查了光刻膠、刻蝕固體（tǐ）都（dōu）沒實際問（wèn）題，最終查到局部（bù）真空係統：滿生產能力生產時，刻蝕腔的具（jù）體工作局部真空盛衰興廢進（jìn）行進步了±0.2Pa，超過（guò）生產工藝具體要求的適用範圍，起源（yuán）就是說最（zuì）初時候配局部真空泵的期間留（liú）的抽速容（róng）量缺乏，重要扛不了滿產時接連不斷生產的放耐受力。許許多多人認為半超導體生產線（xiàn）的關鍵部分是（shì）光刻機、刻蝕機，夠意思局部真空泵才是確保生產工藝保持穩定的現有基礎，現在就聯係起來關於十幾年的工作現場實際經驗談天這一議題。

半超導體關鍵（jiàn）部分生（shēng）產工藝對局部（bù）真空（kōng）泵的關鍵部分具體要求

半超導體（tǐ）製造的三大關鍵部分生產工藝都離不開局部真空泵：刻蝕、地膜（mó）澱積物、離子化流入，每一個步驟對局部真（zhēn）空環境的具體要求都有差別，但對（duì）保（bǎo）持穩定性、清潔度、耐破（pò）壞性的（de）具（jù）體要求是進（jìn）行聯（lián）係的。

幹法刻蝕生（shēng）產工藝完整過程中，會（huì）持續（xù）分析氟基、氯基的（de）破壞性副結果，不單具體要求局部真空泵能保持穩定保持10^-2~10^-4Pa的具體工（gōng）作局部真空，同時泵腔自己能抗破壞，進行不肯用小（xiǎo）意思月就被破壞漏汽；與此同時局部真空度盛衰興廢一定要進行控製在±0.1Pa內心裏，如果盛衰興廢過大，刻蝕（shí）利率就會石（shí）灰石勻（yún），線寬錯誤超標準，直來直去進行引起良率（lǜ）需（xū）要。

地膜澱積物無論是PECVD如果（guǒ）PVD，都具體要求局部真空環境絕對化清潔，無法有（yǒu）油水蒸氣、細顆粒物物造成汙（wū）染，如（rú）果造成汙（wū）染晶圓，澱積物的地膜（mó）就會發生銷孔、廢物，直來直去（qù）報關。離子化流入對局（jú）部真空具體要求更高，除外前級局部真空要保持穩定（dìng），同時防止留（liú）下固（gù）體和（hé）離子化束影響，產生（shēng）相應作（zuò）用流入廢物的粘滯性平均性，因此前級泵的抽速保持穩定性直來直去作出決定了全部高局部真空係統的使用性能。

選型經常（cháng）出現的關於三個坑，許許（xǔ）多（duō）多工場都（dōu）踩過

• 胸（xiōng）無點墨需（xū）要高局部真空等級提升，大馬拉手推車，我遇到過老鼻子工場，做普通的包括級刻蝕，生產工藝隻（zhī）有必要10^-3Pa的具體工作局部（bù）真空，非要配能到10^-6Pa的（de）有關高端局（jú）部真空醫衛組，設備（bèi）進行采購（gòu）費用成本直來直去翻了三倍（bèi）不說，高局部真空醫衛組對通常進行維護具體要求更高，恰恰相反更比（bǐ）較容易出運行故障，拉低了從整體上看（kàn）稼動率。夠（gòu）意思比較合適生產工（gōng）藝具體要求的才是對的，並非（fēi）越有（yǒu）關高端越好。
• 置之（zhī）不理生產工藝電介（jiè）質的破壞性，選未做冬防采用相（xiàng）應（yīng）辦（bàn）法解決的泵，半超導體生產工藝的副結果破壞性（xìng）很強，普通局部（bù）真空（kōng）泵的葉輪、泵腔並未做較為額外冬防（fáng）采用相應辦法解決，快的話全年就會發生破壞（huài）破壞，抽速需要30%上述，檢修的期間（jiān）全部（bù）泵（bèng）腔都要換，費用成（chéng）本（běn）差未幾是（shì）新（xīn）泵的60%，算沒意思比關於一開（kāi）始選冬防泵貴多了。
• 抽速容量留較為缺（quē）乏，滿產就（jiù）掉壓，就是說開始我（wǒ）遇到的那（nà）一個運行故障，許許多多選型的期間隻按腔室容積算抽速，置之不理了管路漏率、生產工藝完整過程（chéng）的接連不斷放氣，另外還有開箱換片後的迅速抽氣實際需要，留的容量達到（dào）10%，低（dī）生產（chǎn）能力生（shēng）產（chǎn）的期間沒實際（jì）問題，滿產接連不斷正常運轉就（jiù）扛不了，局部（bù）真空盛衰興廢直來直去產生相應（yīng）作用良率。

有所區別半超導（dǎo）體生產工藝的局部真空（kōng）泵選型筆錄（lù）

麵向半超導體（tǐ）三大關鍵部分生產工藝，我梳理了真實情況（kuàng）具體項目中跑了小半年核驗的選型具體方（fāng）案，給大家做進行商量：

幹法刻蝕生產工藝，當前（qián）幹流（liú）挑選是耐破壞螺釘幹泵，單台12寸刻蝕（shí）腔通常配抽速150~300m³/h的型號就行，幹泵（bèng）並未血汙（wū）染（rǎn），泵腔做冬防采用相（xiàng）應辦法解決隨後，能長時（shí）間負責破壞性（xìng）副結果，保持穩定性比較為傳統油式泵好許許多多，我們給客戶配過鮑斯、愛德華（huá）的幹泵，都能符（fú）合接連不斷生產的具（jù）體要求。

地膜澱積物生產（chǎn）工藝（yì），PVD和PECVD都對清潔度具體要求極高，為的是防止油水蒸氣返滲造成汙染（rǎn）晶圓（yuán），前級泵大體上都用幹（gàn）泵，協同配合積極分子泵組達成高局部真空；在滿足相關條件時是舊生產線升級改造用旋片泵，一定要選帶（dài）防返油設置的型號，要不然很比較容易發生（shēng）晶圓造成汙染的實際問題。

離子化流入生產工藝，其主要原因在於有必要10^-4Pa上（shàng）述的較為範圍局部真（zhēn）空，因此大體上都是多級局部真空醫衛組，前級用大抽速幹泵保持穩定保持前級壓強在1Pa這陣兒，給後（hòu）級積極分子泵給予適宜的具體工作具體條件，前級壓強（qiáng）盛衰興廢無（wú）法進行進（jìn）步0.5Pa，要不（bú）然積極分子泵的抽速會受產生相應（yīng）作用，全部係統的較為範圍局部真空就達達到具體要求。

蘇州丝瓜影视（www.517023.com）做選型的期間，都會先幫客戶（hù）算清晰管路（lù）漏率、生產工（gōng）藝放耐受力，再備足（zú）15%~20%的抽速容量，進（jìn）行不肯發生滿產掉壓的實際問題。

通常進行維護比（bǐ）較容易置之不理的底細

許（xǔ）許多多（duō）工場的局部（bù）真空泵出實際問題，並非選型錯了，是進行維護（hù）達到位，有小意思底細許許多多人都不進行理（lǐ）會：

老大個是泵腔積碳吹掃，半超導體生產工藝（yì）的副結果會持續澱積物在泵腔（qiāng）內壁，時段長了會減少泵腔麵積，進一步減少抽速，通常普通生產工藝3個月吹掃（sǎo）關於一次，破壞性強的生產工藝其中一個月關於一次，吹掃用索然（rán）無味氮氣（qì）就行，能伯母延伸泵的（de）采用壽數（shù）。

其次個是訴諸公論加以過濾器預先進行替換，許許多（duō）多人都是加以（yǐ）過濾器堵了壞了才換，夠意思應當按正常運轉鍾頭換，通常幹泵的訴諸公（gōng）論加以過濾器（qì）5000鍾頭即將換，油旋泵的油加以過濾器3000鍾頭換，要不然訴諸公論背壓進行提出，抽速會降10%~20%，逐漸就產生相應作用局部真空保（bǎo）持穩定。

老三個（gè）是軸（zhóu）封進行死期進行檢查（chá），破壞氣性回味（wèi）逐漸破（pò）壞（huài）軸封，雖然並未外（wài）漏，也要年份拆檢（jiǎn）關（guān）於一（yī）次，如果軸封漏了，外邊大氣進泵腔，不單局部真空度上不去，還會液化生產工藝副結果（guǒ），革命數量更多廢物，造成汙染全部局部真空腔。

當前較為先進半超導體製程對局部真空保持穩定性的具體要求越來越高，許許（xǔ）多（duō）多工（gōng）場在做舊線（xiàn）升級改造的期間，都加以想著直來直去換更有關高端的局部真空泵，夠意思許許多多期間實際問題不（bú）出在泵自己，可以管路設計（jì）、容量進行計算（suàn）或是（shì）進行維護達到位，先複查上（shàng）述這些現有基礎實際問題，再（zài）全麵考慮換設備，能省老（lǎo）鼻子（zǐ）受委屈錢。