談天（tiān）局部真空泵在半（bàn）超導體業務領（lǐng）域的投入（rù）實際使用：別踩選型和進行維護的坑

上個月幫昆山集團（tuán）中（zhōng）小度（dù）量衡半超導體攻擊廠（chǎng）複查良率不正常（cháng），查了光刻、刻蝕生產工（gōng）藝形式參數都沒實（shí）際問題，最終察覺到起源（yuán）出在局部真空（kōng）泵上（shàng）——原廠為的是省關於十幾萬費用成本，給幹法刻蝕工位裝了普通（tōng）油封式局部真空泵，用了達到年份，泵油被堿性副結果破壞乳化，局部真空度盛衰興廢進行進步決（jué）定（dìng）適用範圍，進（jìn）行引起刻蝕深度石灰石勻，良率掉了（le）6個百分點。幹了關於十幾年局部真空技術，我察覺到許許多多人對局部真空泵在半超導體業務領域的投入實際使用都有認識有關誤區：認為隻需能抽到（dào）具體要求的（de）局部真空度就夠，夠意思全部並非這樣加以回（huí）事。

半超導體生（shēng）產工藝對局部真空泵的關鍵部分具體要（yào）求，遠超過（guò）抽速和較（jiào）為範圍局（jú）部真空

半超導體業務領域對局部真空的具體要求，和普通化學（xué）工業、鍍膜全（quán）部不同樣，關鍵部分是關於兩個：局部（bù）真空清（qīng）潔度和長時間正常運轉保（bǎo）持穩定性。晶圓製（zhì）造從光刻（kè）到包括，任意一種相關情況一些油水蒸氣廢物、0.1Pa上述的局部真空盛衰興廢，都（dōu）或（huò）許（xǔ）進行引起整批晶圓報關。

半超導體關鍵部分生（shēng）產工藝裏，刻蝕會形成很多（duō）破壞性鹵（lǔ）化物副結果，地（dì）膜澱積（jī）物會持續持續（xù）析出細顆粒物和考（kǎo）古影響物，離子化流入具體要求極低的背壓和零返流，有所區別生產工藝對泵的材料、整體結構具體要求天差地別。許許多多生手選型隻（zhī）盯著範本上的抽速、較為範圍局部真空關於兩個形式參數，全部置之不理生產（chǎn）工藝電介（jiè）質對泵的破壞、造成汙染產生相應作用，這是最廣泛的（de）老大個坑。

有所區別半超導體生產工藝段，局部真空泵的選型論理

與（yǔ）之對應半超導體關於三個關鍵部分生產（chǎn）工藝（yì）具體環節，選型筆錄全部有所區別，並未參（cān）加的（de）最優解，左不過最適配的具體方案：

• 刻蝕生產工藝（yì）：無論幹法如果濕法刻蝕，關鍵部分齟齬是破壞性副結果，絕對化無（wú）法選（xuǎn）普通油封式局部真空泵。油（yóu）封泵的泵油進行聯係堿性固體高速就會乳化，不單局部真空度（dù）保不了，還會破壞泵腔滾珠軸承（chéng），相（xiàng）對大幅進行裁汰泵的壽（shòu）數，一再換油停工也（yě）直來直去產生相應作用生產能力。當前（qián）幹流具體方案是耐（nài）腐型幹式局（jú）部真空泵，前道較為先進製程用愛德華的幹泵保持穩定性口（kǒu）碑很好，後道包括、權力半超導體刻蝕具（jù）體環節，國貨鮑斯的耐腐幹泵全部（bù）能符合具體要求，進行采（cǎi）購（gòu）費用成本低老鼻子。
• 地膜澱積物：包（bāo）含CVD、PVD上述這些（xiē）生（shēng）產工藝，具體要求局（jú）部真（zhēn）空度保持穩定、無油水（shuǐ）蒸氣造成汙染，與此（cǐ）同時要起義生產工藝完整過程中形成的麵子細顆粒物。選泵的期間要進行先鞭選帶泵腔（qiāng）自保（bǎo）持幹淨設計的螺（luó）釘幹泵，能進一步降低細顆粒物繼續，防（fáng）止抽速迅速需要（yào）。我（wǒ）們給許許多多半超導體基材電子光學鍍膜產線做提供配套支持（chí），萊寶的幹泵在這（zhè）一具體環節（jiē）的保持（chí）穩定性始終反（fǎn）饋意見容易。
• 離子化流入：這一（yī）生產工藝對（duì）清潔度具體要求是萬丈的，任意一種相關情況油水蒸氣或是細（xì）顆粒（lì）物造成汙染都會打壞離子化源、造成汙染晶圓，全部（bù）係統一（yī）定要是全無油設計，前級泵（bèng）要選羅茨-幹泵醫衛組，確保背壓保持穩定無返流。許許多多小廠圖適當有關用油封泵現階段級（jí），最終發生晶圓要樣兒廢物進行不足格，整（zhěng）批報關的破財遠距（jù）離於泵自己的差價。

另其中一個經常出現有關誤區：進行門首泵準譜兒優惠國貨泵？

這一有關誤區我進行（háng）遭遇太多了，許許多多半超導體廠招投標直來（lái）直去具（jù）體要（yào）求一定要進行門首品牌名稱，夠意思全部沒很有必要。

使不得打（dǎ）倒，前道較為先進製程進行（háng）諸如（rú）7nm這陣兒製程，對泵的長時間保持穩（wěn）定性、泄露率具體要求極高，進行門首品牌名稱如愛德華、萊寶的確技術逐步（bù）積累深，使用性能更保（bǎo）持穩定。不過在後道包括、進行測（cè）試、權力半超導體加以分立機件製造上（shàng）述這些具體環節，國貨鮑斯局部真空泵的使用性能目前已經全部達（dá）到，價錢左不過進行門首同規格產（chǎn）品的60%-70%，並且進行維（wéi）護零配件提供快，工程師（shī）上門也盡（jìn）快，進行（háng）不肯像進行門首品牌名稱偶（ǒu）爾候等零配（pèi）件（jiàn）要等關於一兩周，直來直去止血進行阻斷生產。

事先蘇（sū）州集團做IGBT包括的客戶，戛戛獨造（zào）安全線用進行門首泵，之後換（huàn）了兩台鮑斯的幹泵（bèng）在（zài）包括工（gōng）位，用（yòng）了關於（yú）四年，除外正常化進行維護，沒加以出過運行（háng）故障，保護成本降了半數還多。

進行維護（hù）具體環節（jiē）比較容易置之不理的隱形能力實際問題

選關於對了（le）泵，不表示（shì）就事事大吉，許許多多廠進行維護（hù）達（dá）到位，仍舊（jiù）出實際問題，我見過小意思同一（yī）性的錯誤百出：

老大個，不（bú）按生產工藝進行載（zǎi）荷（hé）作出（chū）調整進行維護學期。許（xǔ）許多多廠從嚴進行論理明書（shū）說的（de）12個月進（jìn）行維護關於一次，不過刻蝕（shí）工位破壞性強，密封件全年就被破（pò）壞出漏點了，局部真空度逐漸掉，許（xǔ）許多多（duō）人還認為是生產工藝實際問題，查半（bàn）晌查達到。這一類型的情況強破壞工況，進（jìn）行維（wéi）護學（xué）期要積極性進（jìn）行裁汰到6-8個（gè）月，預先換密封和加以過濾件，遠比出了實際問題（tí）再停工檢修準備。

其次個，隨隨便便（biàn）交替零（líng）配件和消耗品。進行諸如用普通機械油進行（háng）替代特（tè）地局部真空抗腐油，用雜牌訴諸公論加以過濾（lǜ）器進行替代原廠件，看開始關於一次（cì）省了關於幾百塊錢（qián），真實情況上油食物變質快，加以（yǐ）過濾器堵得快，不（bú）單泵的壽數進行裁汰（tài）有些某個，還會進行引起（qǐ）局部真空盛衰（shuāi）興廢產生相應（yīng）作用良率，得（dé）不償失。

老三個，幹泵訴諸（zhū）公論加以過濾器長時（shí）間不換。許許多多廠（chǎng）認為過濾器（qì）能過氣就行，堵一些不產生相應作用采用，真實情況持（chí）續上排（pái）氣背壓進行提出隨後，泵的抽速會（huì）需要15%-20%，功耗會漲10%上（shàng）述，我事先給客戶算（suàn）過關（guān）於一台100L/s的幹泵，堵了隨後年（nián）份（fèn）多交的電費都夠買十套原廠加（jiā）以過（guò）濾器了。

局部真空泵在半超（chāo）導體產線裏占（zhàn）進行股本成比例的達到5%，不過產生相應作用的是100%的良率，許許多多具（jù）體項目降本的期間進行先鞭砍局部真空泵的進行預計，恰恰相反（fǎn）最終（zhōng）吃了大虧。選型準譜兒要先看（kàn）生產工藝適配（pèi），再看形式參數和品牌名稱，使不得胸無點墨持續跟風需要高形式參數或是全進行門首完成配置。蘇州丝瓜影视做了連年有所區別範圍的局（jú）部真空提供配套支持，進行遭遇頂多（duō）的實際（jì）問（wèn）題夠意思都是選（xuǎn）型不是味兒進行引起的，並非泵自己質（zhì）量實際問題。在滿足相關條件時有必要對比有所區別生產工藝配合品牌名稱形式參數，能夠到www.517023.com調查。