幹式局部真空泵和油封泵的差異：關於一文講透，別持續再選錯

前關於兩天有個做半超導體設備的客戶找出我們，說他們工作室裏兩台（tái）螺釘幹泵跟三能油封旋片泵持續混用（yòng），最終結果幹泵一再被（bèi）可凝性水蒸氣結焦卡死，油封泵又在清潔度具體要求高的腔體裏返血汙（wū）染晶圓。大會沒意思關於十幾萬的破（pò）財。實際問題出（chū）在哪？就是說選型（xíng）的期間沒澄清楚幹式局部（bù）真空泵和油封泵的自然界差異，認為都是抽局部真空的就隨隨便便配。

這並非個例。我們進行聯係的客戶裏，起碼有些（xiē）某（mǒu）個對幹泵和油泵的認識需要（yào）在其中一個沒油其中一個有（yǒu）油範圍。現在就把這一事較為絕對持續講清楚——具體工作規律、使用性能形式參數、可以使用（yòng）背景（jǐng）設計師、保護成本，全進行放開說。

一、關鍵部分差異：抽氣規律全部有所區別

先說最重要的。關於兩類泵（bèng）的（de）差別（bié）從設計之初就定死（sǐ）了。

油封（fēng）旋片泵：靠油來密（mì）封和比賽

油封泵的泵腔裏有關於一層罕見的油（yóu）膜，實際作用有三：一是密封——滿載轉子和（hé）定子（zǐ）彼（bǐ）此之間的毫微米級（jí）暇時，避（bì）免（miǎn）固體從超高壓側竄回（huí）低氣壓側；二是比賽——轉子便捷革命解放形成的熱交換被油引起；三是進（jìn）行滑（huá）溜——進一步降低風向標和定子內（nèi）壁的（de）破壞。

具體工作時，油和被抽固體一起流出泵腔，經曆石油氣進行區別後油回來油箱進行集團采用。因此（cǐ）它叫油（yóu）封——油在密封。

幹式（shì）局部真空泵（bèng）：絕對化不（bú）決定油參加泵腔

幹泵的設計邏輯學（xué）就是說泵腔零油。轉子和（hé）定（dìng）子彼此（cǐ）之間靠著名（míng）進行加工的暇時（一般情況下標誌米到關於幾十（shí）毫微米）逐漸形成密封。並未油膜進（jìn）行顧贍密封，意味著著：對進行加工精確程度具體要求極高；轉子和（hé）定（dìng）子無法進行聯係，因此革命更快（一般情況下（xià） 3000-6000 rpm）；有必要分外的比賽方法——水冷、風冷，或是給轉子開比賽頻道。

螺釘幹泵、漩（xuán）渦幹泵、積極分（fèn）子泵（bèng）上述這（zhè）些都進（jìn）行所（suǒ）在（zài）幹式泵範疇。

二（èr）、十分重要形式參數進行比（bǐ）較：關於一張表看完

光說規律太進行摘要，上幹貨。這陣兒相關數值源自鮑斯和愛德華的產品（pǐn）表冊，是業務領（lǐng）域參加整體水平。

小意（yì）思比較容易置之不理的底細（xì）

老大，較為範圍局（jú）部真空不表示真實情況具體工作局部真（zhēn）空。油封泵目的物 0.4 Pa 較為（wéi）範圍局部真（zhēn）空，是在重要大氣、長時段（duàn）接連不斷正常運轉下檢測（cè）來的。真實情況裝到係統裏，增長管路破財，能保持穩定在 1-5 Pa 就容易（yì）了。幹泵目的物 0.5 Pa 是真實情況（kuàng）具體工作能長時間繼續維持的值，其（qí）主要原因在於並未油水蒸氣的進行挫折傳播。

其次，幹泵能解決可凝性（xìng）水蒸氣是個大殺器。化學工業進行靜物、製藥工程凍幹、局部真空鍍膜上述（shù）這些背景設（shè）計師，擠出來的固體裏有水（shuǐ）水（shuǐ）蒸（zhēng）氣、考古（gǔ）驅蟲劑水蒸（zhēng）氣。油（yóu）封泵（bèng）進行遭遇上（shàng）述這些水蒸氣，油會被乳化食物變質，小意思月就得換油。幹泵雖然——水蒸（zhēng）氣直來直去被流出（chū）泵腔，轉子的螺旋形整體結構甚至還會能（néng）夠設計成（chéng）帶噴淋口，邊抽邊衝突。

三、可以使用背景設計師：選（xuǎn）錯了就是說進行燼燃

油封泵比較合適怎麽著背景設計師

更為簡便說（shuō）：局（jú）部真空度具體要（yào）求（qiú）不高、固體重要、進行預計著名的背景設（shè）計師。

• 局部真空產品包裝、局部真空（kōng）吸塑——粗局部真空（1000-10 Pa），油封（fēng）泵趙爾豐綽（chāo）有餘裕
• 微型開展實驗室——死亡索然無味、局部真空烤爐，耐受力小、純度具體要求不頂點
• 局部真空鍍膜前（qián）級（jí）泵——協同配合積極分（fèn）子泵采用（yòng），抽局部真空到 1 Pa 這陣兒（ér）後由積極分子泵繼電器（qì）
• 食品類產品進行加工脫（tuō）氣——抽除進行鼓勵罐裏的卵泡，固體重點是（shì）大氣和少部分水水（shuǐ）蒸氣

鮑斯的 DRV 雙級旋片泵在上述這些（xiē）背景設計師裏（lǐ）是（shì）性價比之王，我（wǒ）們年份能（néng）賣關於幾百台。

幹泵比較合適（shì）怎（zěn）麽著（zhe）背景設計師

關於三個十分重要詞：清潔、保持（chí）穩定、大抽速。

• 半超導體刻蝕和地（dì）膜澱積物——絕對化（huà）無法有油水（shuǐ）蒸氣（qì）造成汙染晶圓，幹泵是（shì）業務領域標配（pèi）
• 化學工業局部真空進行靜物——驅蟲劑水蒸氣可直來直去流出，進行不肯造成汙染泵油
• 製藥工程凍幹——GMP 證明具體要求生產工藝地理區域（yù）無血（xuè）汙染
• 特大型（xíng）局部真空爐——有（yǒu）必要大抽速迅速抽到具體（tǐ）工作局（jú）部真空度
• 光伏幹電（diàn）池板層壓——整（zhěng）版（bǎn）抽局部真空（kōng），耐受力更加不小，且有（yǒu）矽粉細顆（kē）粒物（wù）

愛德華的 GV 多個係列幹泵在半超導體範圍差不多是（shì）決定所（suǒ）處位置，我們辦事處的鮑斯 GSD 多（duō）個係列則在性價比線路（lù）上做得容易，目前已經打進了關於（yú）幾家國貨半超導體外（wài）商的提供鏈。

四、保護成本準（zhǔn）備賬（zhàng）

許許多多老板（bǎn）娘選型的（de）期間隻看進行采購價，這是死忌。

關於一台 5.5 kW 的雙級旋片泵，進行采購價（jià）可能 1.5 萬。每一（yī）年保護成本：泵油 4 次 × 200 元 = 800 元，油霧加以過濾器 4 次 × 150 元 = 600 元，年進行維護費 1400 元。

關於一台同抽速等級提升的螺釘幹（gàn）泵（GSD120），進行采購價可能 8 萬。但它的（de）年保護成（chéng）本大（dà）體上為零——並未泵油，並未加以過濾（lǜ）器，轉子暇時靠著名進行加工繼續維（wéi）持（chí）。正常化工況下（xià） 3 年才有必要（yào）拆檢關於（yú）一次，拆檢花消大概 3000 元（yuán），分（fèn）配到每一年 1000 元。

如此算沒意思（sī），幹泵的（de）組合體本恰恰相反更低，並且省心。我們有個客戶（hù）事先有關用油封泵配局部（bù）真空鍍（dù）膜機，每 3 個月（yuè）換關於（yú）一次油（yóu），老是換油停工 2 鍾頭，增長鍍膜機局部真空（kōng）進（jìn）行收繳時段，每換關於（yú）一次（cì）油進行阻斷半晌生產（chǎn）能力。貿易 GSD250 幹泵後，快（kuài）關於兩年沒保護過。

五、選型避坑（kēng）：關於（yú）三（sān）個經常出現錯誤百出

坑一：有關用油封泵抽水汪汪水蒸氣的生產工藝固體。這是我們（men）進（jìn）行露頭頂多的錯誤百出。客戶說我抽的是索然無（wú）味固體（tǐ），但（dàn）真實情況上局部真空泵開始運行的期間，環境（jìng）大氣裏現在就有蒸汽。增長（zhǎng）生（shēng）產工藝完整過程（chéng）中有時候帶海源閣水蒸氣，小意思（sī）月（yuè）後（hòu）油就乳化了，局部真空度掉半數還多。

坑（kēng）二：幹泵選錯（cuò）了比賽方法。螺釘幹泵有必要比賽。風冷型比較合適（shì）小權（quán）力（≤15 kW），功（gōng）在千秋率一定要水冷。我們有個客戶買了 37 kW 的幹泵卻沒接比賽水，最終結（jié）果達（dá）到關於一周就持（chí）續過（guò）熱維護停工，險些燒發電機（jī）。

坑三：抽速配合不對。選泵並非抽速越大越好。抽速是容積/時段（duàn），生產工藝有必要（yào）的是在明確要求時段（duàn）內把腔體抽到明確要求局部真空度。其中一個 500 L 的腔體，具體要求 30 秒抽到 10 Pa，算沒意思有必要的切實有效抽速大（dà）概 600 m3/h。選個 120 m3/h 的泵決定抽不動，但選（xuǎn） 2000 m3/h 的又奢侈浪費錢。

我們給客戶選型的（de）期間準譜兒會幫他算這一分子（zǐ）式：所需切實有效抽（chōu）速 = 腔體麵積（jī） ÷ 抽氣時段 × ln(進行開始壓強/主要目標壓強)。這一分（fèn）子式錯沒完沒了。

六、歸納：關（guān）於一（yī）句話幫（bāng）你選

最終給男女老幼其中一（yī）個更為簡便的有計劃歌（gē）訣：有水蒸氣、怕造成汙（wū）染、要省心——選（xuǎn）幹泵；進行預計緊、局部真空具（jù）體要求不高、氣（qì）重要——選油封泵；拿禁止（zhǐ）就先測工況，我們給（gěi）予免費（fèi）教育的工作（zuò）現場耐受力進行測（cè）試服（fú）務。

局部（bù）真空泵並非玩意兒，關於一台選錯，末尾或許壓垮整條生產（chǎn）線。花半鍾頭澄清楚幹泵和油封泵的差異，比（bǐ）後來（lái）花關於（yú）幾萬塊檢修準備得多。