愛德華（huá）Edwards局部真空泵iXH100半超導體幹（gàn）泵AC010A121000
Edwards iXH 100 是專為環境保護而設計的嶄新幹泵多個係列 較為（wéi）苛求（qiú）的（de）化學完整過程的製造和進行加工。采用格外地低的有關能量，效率更（gèng）高的根運行機製具備 經曆研發，可相對大幅進一步減少參加權（quán）力至 1.3 kW，比上（shàng）一輩子幹式低 60% 泵，進一步降（jiàng）低對環境的產生相應作用並進一步減少費用成（chéng）本 全部權（quán）。 固體（tǐ）打斷技術和熱設計進行改造（zào） 耐破壞性是 iH 多個係列（liè）的 4 倍 產品。較為先進的麵子采用相應辦法解決具體（tǐ）功能意味著著 iXH 將給予更（gèng）加最（zuì）大的值得信賴性和更長的泵壽數 多層蝕刻生產工（gōng）藝，進一步減少功耗 可用於（yú） CVD 生產工藝，特別是在這種情況下是采（cǎi）用比賽性化學品。
Edwards iXH 100 多個係列泵整體（tǐ）結構密切，量體重輕，聯係起來 極低的噪聲和進行波動（dòng），使 iXH Edwards 多（duō）個係列頂用途（tú）最大範圍的化（huà）學幹泵。iXH 將 成為您對幹（gàn）式局部真空泵技術的需要， 以短小的（de）運行速度給予（yǔ）真實的益處並延伸正常化（huà）正常運轉（zhuǎn）時段 環境產生相應（yīng）作用。iXH 泵設（shè）計可用於大半數半超導體 采（cǎi）用相應辦法（fǎ）解決，與此同時顯著進一步減少參加權力（lì）。該型（xíng）號並未進行標榜（bǎng）鼓風機泵以增添使用（yòng）性能（néng）。相關完整的（de）作出說明表（biǎo）冊，請參（cān）考載入。
搭接片圖
主要特點和長處：
重點用於較為苛（kē）求的（de）化學投入實際使（shǐ）用
峰值抽速 100 m3/h-1 （59 CFM）
較為範圍壓強 1.5 x 10-2 Torr
不（bú）用（yòng）準備性進行維護（hù）
僅包括主（zhǔ）泵（bèng）
3/8英尺迅速包括持續注水
水和電源供應包括過渡半
SS水冷係統
多模 44 slm 固體模塊文件
投入實際使用：
進行載荷測定
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現象學
光刻
物（wù）理學氣相澱（diàn）積物PVD生產工藝（yì）
物理學氣相澱積物 PVD 預進行除去
迅速熱退學RTA
退出（chū）/灰化
蝕刻
植入物策源地
高骨密度等離子化體化學氣相澱積物（wù）HDP CVD
迅速（sù）熱采用相應辦法解決 RTP
不可企及空氣壓的化學氣相澱積物（wù） SACVD
鎢（wū）化學氣相澱積物WCVD
改性化學氣相澱積物MCVD
等離（lí）子化體使原有能力變得更強化學氣相澱積物PECVD
低氣壓化（huà）學氣相澱積物LPCVD
使用性（xìng）能形式參數
抽速雙曲線
