愛德華Edwards局部真空泵iXH100半超（chāo）導體幹泵（bèng）AC010A121000
Edwards iXH 100 是專為環境保護而設計的嶄新幹泵多（duō）個係列（liè） 較為苛求的化學完整過程的製造和進行加工。采用格外地低的（de）有關能量（liàng），效率更高的根運行機製具備 經曆研發（fā），可相對大（dà）幅進一步減（jiǎn）少參加權力至 1.3 kW，比上一輩子幹（gàn）式低 60% 泵，進一步降低對環境的產生相應（yīng）作用並進一步減少費用成本（běn） 全部權。 固體（tǐ）打斷技（jì）術和熱設計進行改造 耐破（pò）壞性是 iH 多個係列的 4 倍 產品。較為先進的麵子采用相應辦法解決具體功能意味著著 iXH 將給予更（gèng）加最大的值得信賴性和更長的泵壽數 多層蝕刻生產工藝（yì），進一步減少（shǎo）功耗 可用於（yú） CVD 生產工藝，特別是在這種情況下（xià）是采用比賽性化學品。
Edwards iXH 100 多個係列泵整體結（jié）構密切，量體重輕，聯係起來 極低的噪聲和進行波動，使 iXH Edwards 多個係列頂用途（tú）最大範圍的化學幹泵。iXH 將 成為（wéi）您對幹（gàn）式局部真空泵技術（shù）的需要， 以短小的運行（háng）速（sù）度給予真實的益處並延伸（shēn）正常化正常運轉時段 環境（jìng）產生相應作用。iXH 泵設計可用於大半數半超導體 采用相應（yīng）辦法解決，與此同時顯著進一步減少參加權力。該（gāi）型號並未進行標榜鼓風機泵以增添使用性（xìng）能。相關（guān）完整的作出說明表冊，請參考載入。
搭接片圖
主要特點和長處：
重點用於較為苛（kē）求的化學（xué）投入實際使（shǐ）用
峰值抽速（sù） 100 m3/h-1 （59 CFM）
較為（wéi）範圍壓強 1.5 x 10-2 Torr
不用準備性進行維護
僅（jǐn）包括主泵
3/8英尺迅速（sù）包括持續注水
水和電源供（gòng）應包括過渡半
SS水冷係統
多模 44 slm 固體模（mó）塊文件
投入實際使用（yòng）：
進行載荷測（cè）定（dìng）
轉到
現象學
光刻（kè）
物（wù）理學氣相澱積（jī）物PVD生產工藝
物理學氣相澱積物 PVD 預進行除（chú）去
迅（xùn）速熱退學RTA
退出/灰化
蝕刻
植入物策源地
高骨密度等離子化體化學氣相澱（diàn）積物HDP CVD
迅速（sù）熱采用（yòng）相（xiàng）應辦法解決（jué） RTP
不可企及空氣壓的化學氣（qì）相澱積物 SACVD
鎢化學氣相澱積物WCVD
改性化學氣相澱積物MCVD
等離子化體使原有能力變得（dé）更（gèng）強化學氣相（xiàng）澱積物PECVD
低氣壓化學（xué）氣（qì）相澱積物LPCVD
使用（yòng）性（xìng）能形式參數（shù）
抽速雙曲線
