愛（ài）德華Edwards局部真空泵iXH100半（bàn）超導體幹泵AC010A121000
Edwards iXH 100 是（shì）專為環境保護（hù）而（ér）設計的（de）嶄新幹（gàn）泵多個係列 較為苛求的化學完整過程的（de）製造和（hé）進行加工。采用格外地低的有關能（néng）量，效率更高的根運行機製（zhì）具備 經曆研發，可相對大幅進一步減少參加權力至 1.3 kW，比上一輩子幹（gàn）式低 60% 泵，進一步降低對環境的產生（shēng）相應作用並進一步減少費（fèi）用成本 全部權。 固體打斷技術和熱設計進（jìn）行（háng）改造 耐破壞性是 iH 多個（gè）係列的（de） 4 倍 產品。較為先進的麵子采（cǎi）用相應辦法解決具體功能意味著著 iXH 將給予更加最大的值得信賴性和更長的泵壽數 多層蝕刻（kè）生產工藝，進一（yī）步減少（shǎo）功耗 可用於 CVD 生（shēng）產工藝，特別（bié）是在這種情況下是采用比賽性化學品。
Edwards iXH 100 多個係列泵整體（tǐ）結構密切，量體重輕，聯係起來 極低的噪聲和進（jìn）行波動，使 iXH Edwards 多個係列頂用途最大範（fàn）圍的化學幹泵。iXH 將 成為您對幹式局（jú）部真空泵技術的需要， 以短小的運行速度給予真實的益處並延伸正（zhèng）常化正常運轉時段 環境產生（shēng）相應作用。iXH 泵設計可用於大半數半超導體 采用相應辦法解決（jué），與此同時（shí）顯著進一步減少參加權力。該型號並未（wèi）進行標榜鼓風機（jī）泵以增添使用性能。相關完整的作出說明（míng）表冊，請參考載入。
搭接（jiē）片圖
主要特點（diǎn）和長處：
重點用於較為苛求的化學投入實際使用
峰值抽速 100 m3/h-1 （59 CFM）
較為範圍壓強 1.5 x 10-2 Torr
不用準備性進行（háng）維護
僅（jǐn）包括主泵
3/8英尺迅速包括持（chí）續注（zhù）水
水和電源供應包括過渡半
SS水冷係統
多模 44 slm 固體模塊（kuài）文件（jiàn）
投入實（shí）際（jì）使用：
進行載荷測定
轉到
現象學
光刻
物理學氣相澱積物PVD生產工藝
物理學氣相澱積物 PVD 預進行除去
迅速熱退學RTA
退出/灰化
蝕刻
植（zhí）入物策源地
高骨密度等離子化體化學（xué）氣相澱積物（wù）HDP CVD
迅（xùn）速熱采（cǎi）用相應辦法解決 RTP
不可企及空（kōng）氣壓的化學氣相澱（diàn）積物 SACVD
鎢化學氣相澱積物WCVD
改性（xìng）化學（xué）氣相澱積物MCVD
等離子化體使原有能力（lì）變得更強化學氣相澱積物PECVD
低氣（qì）壓化學氣相澱積物LPCVD
使（shǐ）用性能（néng）形式參數
抽速（sù）雙曲線
