愛德華Edwards局（jú）部真空泵iXH100半超導體（tǐ）幹泵AC010A121000
Edwards iXH 100 是專（zhuān）為環境保護而設計（jì）的嶄新幹泵多個係列 較為苛求的化學完整過程的製造和（hé）進行加工。采用格外地低的有（yǒu）關能量，效率（lǜ）更高的根運行機製具備 經曆研發，可相（xiàng）對大幅進一步減少參加權力至 1.3 kW，比（bǐ）上一輩子（zǐ）幹式低 60% 泵，進一步降低對環境的（de）產生相應作用並進一步減少費用成本 全部（bù）權。 固體（tǐ）打斷技術和熱設計進行改造（zào） 耐破壞性是 iH 多個係列（liè）的 4 倍 產品。較為先進的麵子（zǐ）采（cǎi）用相應辦法解決具體功能意味著著 iXH 將給予更加最大的值得信賴（lài）性和更長的泵壽數 多層蝕刻生產工藝，進（jìn）一步減少功耗 可用（yòng）於 CVD 生產工藝，特別是在這種情況下是采用比（bǐ）賽性化學品。
Edwards iXH 100 多個係列泵整體結構密切，量體重輕，聯係起來 極低（dī）的噪聲和進行波動，使 iXH Edwards 多個係列頂用（yòng）途最（zuì）大範圍的化學幹泵。iXH 將 成為您對幹式（shì）局部真空泵技（jì）術的需要， 以短小的運行速度給予真實的（de）益處並（bìng）延伸正常化正常運轉時段 環境產生相應作用。iXH 泵設計可用於大半數（shù）半超導體 采用相應（yīng）辦法解決，與此同時顯著進一步減少參加權力。該型（xíng）號並（bìng）未進行標榜（bǎng）鼓風機泵（bèng）以增添使用性能。相關完整的作出說（shuō）明表冊，請參（cān）考（kǎo）載（zǎi）入。
搭接片圖
主要特點和長處：
重點用於較為苛求的化學投入實際使用
峰值抽速 100 m3/h-1 （59 CFM）
較為範圍壓強 1.5 x 10-2 Torr
不用（yòng）準備性進行（háng）維護
僅包括主泵
3/8英尺迅（xùn）速包括持續注水（shuǐ）
水和電源供應包括過渡半
SS水冷係統
多模 44 slm 固體模塊文件
投入實際使用（yòng）：
進行載荷測定
轉到
現象學
光刻
物理學氣相澱積物PVD生產工藝
物理學氣相澱積物 PVD 預進行除去
迅速熱退學RTA
退（tuì）出（chū）/灰化
蝕刻
植入物策源地
高骨密度等離子化體化學氣相澱積（jī）物HDP CVD
迅速熱采用（yòng）相應辦法解決 RTP
不可企及空氣壓（yā）的化學（xué）氣相澱積物 SACVD
鎢化學氣相澱積物WCVD
改性化學氣相澱積物MCVD
等離子（zǐ）化體（tǐ）使原有能力變得更強化學（xué）氣相澱（diàn）積物PECVD
低氣壓化學氣相澱積（jī）物LPCVD
使用性能形式參數
抽（chōu）速雙曲線
