愛德華Edwards局部真空（kōng）泵iXH100半超導體幹泵AC010A121000
Edwards iXH 100 是專為環境保護（hù）而設計的嶄新（xīn）幹泵多個係列 較為苛求的化學（xué）完整過程的製造和進行（háng）加工。采用格外地低的有關能量，效率更高的根運（yùn）行機（jī）製具備 經曆研發，可相對大幅進一步減少參加權力至 1.3 kW，比上（shàng）一（yī）輩子幹式低（dī） 60% 泵，進一步降低對環境的產生相應作用並進一步減少（shǎo）費用成本 全部權。 固體打斷技術和熱設計進行改造 耐破壞性是 iH 多個係列的（de） 4 倍 產品。較為先進的麵子采用相應辦法解決具體功能意味著著（zhe） iXH 將給予更加最大的值得信賴性（xìng）和更長的泵壽數 多層（céng）蝕刻（kè）生產工藝，進一步減少功耗 可用於 CVD 生產工藝，特別是（shì）在這種情況下是采用比賽（sài）性化學品。
Edwards iXH 100 多個係列泵整（zhěng）體（tǐ）結構密切，量體重輕，聯係起來 極低的噪聲和進行波動，使 iXH Edwards 多（duō）個係列頂用途最大範圍的化學幹泵。iXH 將 成為您對幹式局（jú）部真空泵技術的需要， 以短小的運行速度給予真實的益處並延伸正常化（huà）正常（cháng）運轉時段 環境產生（shēng）相應作用。iXH 泵設計可用於大半數半超導體 采用相應辦法解決（jué），與此同時顯著進一步減少參加權力。該型號並未進行標（biāo）榜鼓風機泵以增添使用性能。相（xiàng）關完整的作（zuò）出說明表冊，請參考載入。
搭接（jiē）片圖
主要特點和長處：
重（chóng）點用於較為苛（kē）求的化學投入實際使用
峰值抽速 100 m3/h-1 （59 CFM）
較為範圍壓強 1.5 x 10-2 Torr
不用準備性進行維護
僅（jǐn）包括主（zhǔ）泵
3/8英尺迅速包括持續注水
水和電源供應包括過渡半
SS水冷係統
多模 44 slm 固體模塊文件
投入實際使用：
進行載荷測（cè）定
轉到
現象學
光刻
物理學氣相澱積物（wù）PVD生產工藝
物理學氣相澱（diàn）積物 PVD 預進行除去
迅（xùn）速熱退學RTA
退出/灰化
蝕（shí）刻
植入物策源地
高骨密度等離子化體化學氣相（xiàng）澱積物HDP CVD
迅速熱采用相應辦法解決 RTP
不（bú）可企及空氣壓的化學氣相澱（diàn）積物 SACVD
鎢（wū）化學（xué）氣相澱積物WCVD
改性（xìng）化學（xué）氣相澱積（jī）物MCVD
等離子化體使原有能力變得更強化學氣相澱積物（wù）PECVD
低（dī）氣壓化學氣相澱積物LPCVD
使用性能形式參數
抽速雙曲線
