愛德華Edwards局部真（zhēn）空泵iXH100半超導體（tǐ）幹泵AC010A121000
Edwards iXH 100 是專為環境保護而（ér）設計的嶄新幹泵多個係列（liè） 較為苛求的化（huà）學完整過程的製造和進行加工。采用格（gé）外地低的有關能量，效率更高的根運行機製具（jù）備 經曆研發，可相對大（dà）幅進（jìn）一步減少（shǎo）參加權力至 1.3 kW，比上一輩子幹（gàn）式低 60% 泵，進一步降低對環境的產生相（xiàng）應作用（yòng）並（bìng）進（jìn）一步減少費用成（chéng）本 全部權。 固體打斷技術和熱設（shè）計進行改造 耐破壞性是 iH 多個係列的 4 倍 產品。較為先進的麵子采用相應辦法解決具體功能意味著著 iXH 將給予（yǔ）更加（jiā）最大的值得信賴性和更長的泵（bèng）壽數 多層蝕刻生（shēng）產工藝，進一步減少功耗 可用於 CVD 生產工藝，特別（bié）是在這種情況下是采用比賽性（xìng）化學品。
Edwards iXH 100 多個係列泵整體結構密切，量體重輕，聯係起來 極低的噪聲和進行波動，使（shǐ） iXH Edwards 多個係列頂用途最大範（fàn）圍的化學幹泵。iXH 將 成為您對幹式（shì）局部真空泵技術的需要， 以短小的運行速度給予真實（shí）的益處並延伸正常化正常運轉時段 環境產生相應作用。iXH 泵設計（jì）可（kě）用於大半數半超導體 采用相（xiàng）應辦法解決，與此同時顯（xiǎn）著進一步減少參加權力。該型（xíng）號並未進行標榜鼓風機泵以增（zēng）添使用性（xìng）能。相關完整的作出說明表（biǎo）冊（cè），請參考載（zǎi）入。
搭接片圖
主要特點（diǎn）和長處：
重點用於較為苛求的化學投入實際使用
峰值抽速 100 m3/h-1 （59 CFM）
較為範圍壓強（qiáng） 1.5 x 10-2 Torr
不用準（zhǔn）備性進行維護
僅包括主泵
3/8英尺迅速包括持（chí）續注水
水和電源供應包括過渡半
SS水冷係（xì）統
多模 44 slm 固體模塊文（wén）件
投入實際使用：
進行（háng）載荷測定
轉到
現（xiàn）象學
光刻
物理學氣相澱積物PVD生產工（gōng）藝
物理學氣相澱（diàn）積物 PVD 預進行除去
迅（xùn）速熱退學RTA
退出/灰化
蝕刻
植入物策源地
高骨密度（dù）等離子化體化學氣相澱積物HDP CVD
迅速熱采用相應辦法（fǎ）解決 RTP
不可企及空氣壓的化學氣相澱積（jī）物 SACVD
鎢（wū）化學氣相澱積物WCVD
改性化學氣相澱積物MCVD
等離子化體使（shǐ）原有能力變得（dé）更強化學氣相澱積物PECVD
低氣壓（yā）化學氣相澱積物LPCVD
使用性能形式參數
抽速雙曲線
