愛德華Edwards局部真空泵iXH100半超導體幹泵AC010A121000
Edwards iXH 100 是專為環境保護而設計的嶄新幹泵多（duō）個係列 較為苛求的（de）化學完整過程的製造和進行加工。采用格外地（dì）低的有關能量，效率（lǜ）更高的（de）根（gēn）運（yùn）行機製具備 經曆研發，可相對大幅進一步減少參加權力至（zhì） 1.3 kW，比上一輩（bèi）子幹式低 60% 泵，進一步降低對環境（jìng）的產生相應作用（yòng）並進一步減少費（fèi）用成本 全部權。 固體打斷技術和熱設計進行改造 耐破壞性是 iH 多個係列（liè）的 4 倍 產品。較為先進的麵子采（cǎi）用（yòng）相應辦（bàn）法解決具體功能意味著著 iXH 將給予更加最大的值（zhí）得信賴性和更長的泵壽數 多（duō）層蝕刻生產工藝，進（jìn）一步減少功耗 可用於 CVD 生產工藝，特別是在（zài）這種情況下是采用比賽性化學品。
Edwards iXH 100 多（duō）個（gè）係（xì）列泵整體結（jié）構密切，量體重輕，聯係（xì）起來 極低的噪聲（shēng）和進行波動，使 iXH Edwards 多個係（xì）列頂用（yòng）途最大範圍的化學幹泵。iXH 將 成為您對幹（gàn）式（shì）局部真空泵技術（shù）的需要（yào）， 以短小的運行速度給予真實的益處並延伸正常（cháng）化正常運轉（zhuǎn）時段（duàn） 環境產生相（xiàng）應作用。iXH 泵設計可用於（yú）大半數半超導（dǎo）體 采用相應辦法解決，與此同時（shí）顯著進一步減少參加權（quán）力。該型號並未進行標榜（bǎng）鼓風機泵以增添使用性能。相關完整的作出說明表冊，請參考載入。
搭接片圖
主要特點和長處：
重點用於較為苛求的化學投入實際使用
峰值抽速 100 m3/h-1 （59 CFM）
較為範圍壓強（qiáng） 1.5 x 10-2 Torr
不用準備（bèi）性進行維護
僅包（bāo）括主（zhǔ）泵
3/8英尺迅速包括（kuò）持續注水
水和電源供應（yīng）包括過渡半
SS水冷（lěng）係統
多模 44 slm 固體模（mó）塊文件
投入（rù）實際使用：
進行載荷測定
轉到
現象學
光刻
物理學氣相澱積物PVD生產工藝
物理學氣相澱積物 PVD 預進行除去（qù）
迅速熱退學RTA
退出/灰化
蝕刻
植入（rù）物策（cè）源地
高骨密度等離子化體化學氣（qì）相澱積物HDP CVD
迅速熱（rè）采用相應辦法解決 RTP
不可企及空氣壓的化學氣相澱積物 SACVD
鎢化學氣相澱積（jī）物（wù）WCVD
改性化學氣相澱積物MCVD
等離子化體使原有能力變得更強化學氣相澱積物PECVD
低氣壓化學氣相澱積物LPCVD
使（shǐ）用性能（néng）形式參數
抽速雙曲線
