Edwards iXH 610 是關（guān）於一款新式幹式局部（bù）真（zhēn）空（kōng）泵，專為綠色環保製造（zào）和較為苛求化（huà）毖勞藝而設計。其重點主要特點和長處包含：
可用於 HARSH 化學投入實際使用
峰值抽速為 665 m³/h（391 CFM）
較為範圍壓強為 3.7 x 10⁻³ Torr
不用準備性進行維護
3/8 英尺迅（xùn）速包括持續注水（shuǐ）
水和核動力包括交配半（bàn）
SS水（shuǐ）冷係統
多運行方式 44 slm 固體模塊文件
iXH 610 多（duō）個（gè）係列泵具備（bèi）密（mì）切的整體結構、輕（qīng）優惠設計、極低的噪聲和進行波動，使其轉變為 Edwards 多個係列中投入實際使用（yòng）最大範圍（wéi）的化學（xué）幹泵。iXH 泵可為多層蝕刻生產工藝給予更加最大的值得信賴性，延伸泵的采用壽數，並進一步減少 CVD 生產工藝（yì）的功耗，特別是在這種情況下是在運用 HARSH 化學品的狀況下。iXH 泵可用於大（dà）半數半超導體生（shēng）產工藝（yì），與此同時明顯進一步減少參加權力[3]。
在檢修層（céng）麵，Edwards iXH 多個係列幹（gàn）泵的檢修服務包含（hán）更為專業對外銷售檢修、拆除課程、舉證和作出說明文檔PDF載入等。檢修服務包括了多種（zhǒng）不同的品牌名稱，如法國阿爾（ěr）卡特（Alcatel Adixen）、英國愛德華（Edwards）、德國萊寶（Oerlikon Leybold）、普旭（BUSCH）、德國西赫（hè）（SIHIdry）、貝克（BECKER）、科威爾（KOWEL）和裏其樂（RIETSCHLE）等[3]。
