Edwards iXH 610 是關於一款新式幹（gàn）式局部真（zhēn）空泵，專（zhuān）為綠色環保（bǎo）製造和較為（wéi）苛（kē）求化毖（bì）勞藝而設（shè）計。其重點主（zhǔ）要特點和長處包（bāo）含（hán）：
可用於 HARSH 化學投入實際使用
峰值抽速為 665 m³/h（391 CFM）
較為範圍壓強為（wéi） 3.7 x 10⁻³ Torr
不用準備性進行維護
3/8 英尺迅速包括持（chí）續注水
水和核動力包括交配半
SS水冷係統
多運行方式 44 slm 固體（tǐ）模（mó）塊文件
iXH 610 多個係列泵具備密切的（de）整體（tǐ）結構、輕優惠設計、極低的（de）噪聲和進行波動，使其轉（zhuǎn）變為 Edwards 多個係（xì）列（liè）中投入實際使用最大（dà）範圍的化學幹泵。iXH 泵可為多層蝕刻生產工藝給予更加最大的值（zhí）得信（xìn）賴（lài）性，延伸泵的采用壽數，並進一步減少 CVD 生產工藝的功（gōng）耗，特別是在這種情況下是在運用 HARSH 化（huà）學（xué）品的狀況下。iXH 泵可用於大半數半超導體生產工藝，與此（cǐ）同時明顯進一步減少參加權力[3]。
在檢修（xiū）層麵，Edwards iXH 多個係列幹泵的檢修服務（wù）包含更為（wéi）專業對外銷售檢修、拆除課程（chéng）、舉證（zhèng）和作出說明文（wén）檔PDF載入等。檢修服務包括了多種不同的品牌名稱（chēng），如法國阿爾（ěr）卡特（Alcatel Adixen）、英國愛德華（Edwards）、德（dé）國萊寶（Oerlikon Leybold）、普旭（BUSCH）、德國西赫（hè）（SIHIdry）、貝克（BECKER）、科威爾（KOWEL）和裏其樂（RIETSCHLE）等[3]。
