Edwards iXH 610 是關（guān）於一（yī）款新式幹式局部真空（kōng）泵，專為綠色環保製造和較為苛求化毖勞藝而設計。其重點主要特點（diǎn）和長處包含：
可用於 HARSH 化學投入實際使用（yòng）
峰值抽（chōu）速為（wéi） 665 m³/h（391 CFM）
較為範圍壓（yā）強為 3.7 x 10⁻³ Torr
不（bú）用準備性進行維護
3/8 英尺迅速包括持續注水
水（shuǐ）和核動力（lì）包括交配半
SS水冷係統
多運行方式 44 slm 固體模塊文件
iXH 610 多個係列泵具備密（mì）切的整體結構、輕優惠設計（jì）、極低的噪聲和進行波動（dòng），使（shǐ）其轉變為 Edwards 多個係列中投入實際使用最大範圍的化學幹泵。iXH 泵可為多（duō）層蝕刻生產工藝給予更（gèng）加最大的值得信賴性，延伸泵的采用壽數，並進一步減少 CVD 生產工（gōng）藝的功耗，特別是（shì）在這種情況下是在運用 HARSH 化學品的狀況下。iXH 泵可用於大半數半超導體生產工藝，與此同時明顯進一步（bù）減少參（cān）加權力[3]。
在檢修層麵，Edwards iXH 多個係列幹泵的檢修服務包（bāo）含更為專業對（duì）外銷售檢修、拆（chāi）除課程、舉證和作出說明文檔PDF載入等。檢修服務包括了多種不同的品牌名稱，如法國阿（ā）爾卡特（Alcatel Adixen）、英（yīng）國愛德（dé）華（huá）（Edwards）、德國（guó）萊寶（Oerlikon Leybold）、普旭（BUSCH）、德國西赫（SIHIdry）、貝克（kè）（BECKER）、科威爾（KOWEL）和裏其樂（RIETSCHLE）等[3]。
