Edwards iXH 610 是關於一款新式幹式局部真空泵，專為綠色環保製（zhì）造和較為苛（kē）求化毖勞藝而設計。其（qí）重點主要特點和長處包含：
可用於 HARSH 化（huà）學投（tóu）入實際使用
峰值抽速為 665 m³/h（391 CFM）
較為範圍壓強為（wéi） 3.7 x 10⁻³ Torr
不用準備（bèi）性進行維護
3/8 英（yīng）尺迅速包括持續（xù）注水
水和核動力包括交配半（bàn）
SS水（shuǐ）冷係統
多運（yùn）行方式 44 slm 固體模塊文件
iXH 610 多個係列泵具備密（mì）切的整體結構、輕優惠（huì）設計、極低的噪聲和進行波動，使其轉變為（wéi） Edwards 多個（gè）係列中投入實際使用最大範（fàn）圍的化學幹（gàn）泵。iXH 泵可為多層蝕刻生產工藝給予更加最大的值得（dé）信賴性，延伸泵的采用壽數（shù），並（bìng）進一步減（jiǎn）少 CVD 生產工藝的功耗，特別是在這種情況下是在運用 HARSH 化學品的狀況下。iXH 泵可用於大（dà）半數半超導體生產工藝，與此同時明顯進一步減少參加權力[3]。
在檢修層麵，Edwards iXH 多個（gè）係列幹泵的（de）檢修服務包含更為（wéi）專業對外銷售檢修、拆除課程、舉證和作出說明（míng）文檔PDF載入等（děng）。檢修服務包括了（le）多種不同的品牌名稱，如法國阿爾卡特（Alcatel Adixen）、英國愛德華（Edwards）、德國萊寶（Oerlikon Leybold）、普旭（xù）（BUSCH）、德國西赫（SIHIdry）、貝克（BECKER）、科威爾（KOWEL）和裏其樂（RIETSCHLE）等（děng）[3]。
