Edwards iXH 610 是關（guān）於（yú）一款新式幹（gàn）式局部真空泵，專為綠色環保製（zhì）造和較為苛求化毖勞藝而（ér）設計（jì）。其（qí）重點主要特點和長處包含：
可用於 HARSH 化學投入實際使用
峰值抽速為 665 m³/h（391 CFM）
較為（wéi）範圍壓強為 3.7 x 10⁻³ Torr
不用準備性進行維護
3/8 英尺迅（xùn）速包括持續（xù）注水
水和核動力包括交配半
SS水冷係統
多運行方式 44 slm 固體模塊文件
iXH 610 多個係列泵具（jù）備密切的整體結構、輕優惠（huì）設計、極低（dī）的噪聲和進行波動，使（shǐ）其轉變為 Edwards 多個係列中投入實際使（shǐ）用最大範圍的化學幹泵。iXH 泵可（kě）為多層蝕刻生產（chǎn）工藝給予更加最大的值得信賴性，延（yán）伸泵的采用壽數，並進一（yī）步減少 CVD 生產工藝的功耗，特別是在這種情況下是在運用（yòng） HARSH 化學品的狀況下。iXH 泵可用於（yú）大半數（shù）半超導體生產工藝，與此同（tóng）時明顯進一步減少參加權力[3]。
在（zài）檢修層麵（miàn），Edwards iXH 多個係列幹泵的（de）檢修服務包含更為專業對外銷售檢（jiǎn）修、拆除課程、舉證和作出說明文檔PDF載入等。檢修服務包括了多種不同的品牌（pái）名稱，如法國阿爾卡特（Alcatel Adixen）、英國（guó）愛德華（Edwards）、德國萊（lái）寶（Oerlikon Leybold）、普旭（BUSCH）、德國西赫（SIHIdry）、貝克（BECKER）、科威爾（KOWEL）和裏（lǐ）其（qí）樂（lè）（RIETSCHLE）等[3]。
