愛德華Edwards局部真空泵iXH100半超導體幹泵AC010A121000
Edwards iXH 100 是專為環境保護而設計的嶄新幹泵多個係列 較為苛求的化學完整過程的製造和進（jìn）行加工。采用格外地低的有關能量，效率更高的根運行機製具備 經曆研發（fā），可相對大幅進一步減少（shǎo）參加權力至 1.3 kW，比上一輩子幹式低 60% 泵（bèng），進一步降（jiàng）低（dī）對環境的產生相應作用並進一步減少費用成本 全部權。 固體打斷技術（shù）和熱設（shè）計（jì）進行改造 耐破壞性是 iH 多個係列的 4 倍 產品。較為先進的麵子采用相應辦法解決具體功能意（yì）味著著 iXH 將給予更加最大的值得（dé）信賴性和更長的泵壽數 多層蝕刻生產工藝，進一步減少功耗 可用於 CVD 生產工藝，特別是在（zài）這種情況下是（shì）采用比（bǐ）賽性化學品。
Edwards iXH 100 多個係列泵整體結構密切，量體重輕，聯係起來 極低的噪聲和進行波動，使 iXH Edwards 多個係（xì）列頂用（yòng）途最（zuì）大範圍的化學幹（gàn）泵。iXH 將 成為您對幹式局部真空泵技術的需要， 以短小的運行速（sù）度給予真實的益處並延伸正常化（huà）正常運轉時段（duàn） 環境（jìng）產生相應作用。iXH 泵設計可用於大半數半超導體（tǐ） 采用相應辦（bàn）法解決，與此同時顯著進一步減（jiǎn）少參加權力。該型號並未進行標榜鼓風機泵以增添使用（yòng）性能。相關（guān）完整的作出說明表冊，請參考載入。
搭接片圖
主要特點和長處：
重點用於較為苛求的化學投入實際使用
峰值抽速（sù） 100 m3/h-1 （59 CFM）
較為（wéi）範圍壓強 1.5 x 10-2 Torr
不用準備性進行維護
僅包括主泵
3/8英尺迅速包括持續注水
水和電源供應包括過渡半（bàn）
SS水冷係統
多模 44 slm 固體模（mó）塊文件（jiàn）
投入實際使用：
進行載荷測定
轉到
現象學
光刻
物理學氣相澱積物PVD生產工藝
物理學氣相澱（diàn）積物 PVD 預進行（háng）除去
迅速熱退學RTA
退出/灰化
蝕刻
植入物策源地
高骨密度等離子化（huà）體化學氣相澱積物HDP CVD
迅速熱采用相應辦法（fǎ）解決 RTP
不（bú）可企及空氣壓的化學氣相澱積物 SACVD
鎢化學氣相澱積（jī）物WCVD
改（gǎi）性化學氣相澱積物MCVD
等離子化體使原有能力變得更強化學氣相（xiàng）澱積物PECVD
低氣壓化學氣相澱積物LPCVD
使用性能形式參數
抽速雙曲線
