從（cóng）12寸線（xiàn）刻蝕機（jī）局部真空告警運行故（gù）障（zhàng），談天局部（bù）真空泵在半超導體業務領域的投入實際使用

上次二深夜零點，我們接受蘇州工業領域工業（yè）園區某12寸晶圓廠設備部的進行訴願電話，他們（men）論理微芯片線的（de）2號刻蝕機（jī）局部（bù）真（zhēn）空係統接連不斷告（gào）警3天，背（bèi）景局部真空度怎樣都抽達到生產工藝具體要求的5×10^-4Pa這陣兒，最重要的期間抽3鍾頭（tóu）還停在8×10^-3Pa，目前（qián）已經（jīng）停了關於（yú）兩個相對批次的12nm生產工藝晶圓，再找達到實（shí）際問題，當日（rì）的生產能力就全廢了。

我們的工（gōng）程師到工作現場（chǎng）的期間，廠方的設備工作（zuò）團（tuán）隊目前已經把積（jī）極分子泵拆沒意思開展檢測過（guò）關於三次，革命、動平均、風（fēng）向標暇時通通是（shì）正常化的，管安檢漏也沒找出漏點（diǎn），全部人都卡在“積極（jí）分（fèn）子泵沒實（shí）際問題但局部真空度上（shàng）不去”的死胡有（yǒu）關同裏。

先（xiān）搞懂半超導體生（shēng）產工藝對局部真空泵的（de）關鍵部分具體要求，管理找對運行故障根因

半超導體業務（wù）領域對局部真空泵的具體要求，向來並非抽（chōu）速快、較為範圍局部真（zhēn）空高這（zhè）樣更為（wéi）簡便，關鍵部分是和（hé）生產工藝的適配性。許許多多廠（chǎng）的設備工（gōng）作團隊遇到局部真空運行故障，老大（dà）影響就是說查積極分子泵、檢漏，全部置之不（bú）理前級泵的情況，這夠意思是翻一番（fān）超導體（tǐ）局部真空係統的論理沒搞（gǎo）透。

我（wǒ）們的複查論理（lǐ）很更為簡便（biàn）：半（bàn）超導體高局部真空係統都是“前級幹式泵（bèng）+羅茨泵+積極分子泵”的更加三級整體結構，積極（jí）分子泵要正常化具體工作，一定要靠前級（jí）泵把背壓抽到10Pa這陣兒，要不然積極分子泵的縮減比重要上不去，雖然（rán）革命拉滿也抽達到高局部真空。我們先關閉積極分子泵的前級閥，僅僅（jǐn）測前級愛德華幹式螺釘（dìng）泵的較為範圍局部真空，最終結果結果表明（míng）隻得抽到2Pa，遠不可（kě）企及出（chū）廠規範標準的0.5Pa，實際問題直來（lái）直（zhí）去測定在前級泵。

拆除（chú）泵的持（chí）續進氣口法蘭隨後，全部人都（dōu）傻了：泵（bèng）腔的轉子和定子要樣兒結了關於一層1mm厚的灰白色結晶體，就是說幹法刻蝕生（shēng）產工（gōng）藝形成的氟化銨副結（jié）果，戛戛獨造0.1mm的轉子暇（xiá）時被堵得差不多貼合，抽速直來（lái）直去（qù）掉了70%。廠方的運維說他們（men）是按製造廠給的6個月保（bǎo）得住學期來做的，還沒到時段，向來沒拆過泵腔。但他們沒全麵考慮到，這條刻蝕線這程子滿載荷跑氯基刻（kè）蝕生（shēng）產工藝，生產工藝固體客流量比規範標準工況高（gāo）了30%，副結果的形成（chéng）量直來直去翻了關於一倍，3個月就把泵腔持續堵死了。

我們用（yòng）特地保持幹（gàn）淨劑清完泵腔，進行替換了被破壞的軸封，裝回隨後進行測試前級泵的較為範圍局部（bù）真空到了0.3Pa，接（jiē）回係（xì）統隨後，刻蝕腔（qiāng）的背景局部真（zhēn）空20毫秒就（jiù）抽到了3×10^-4Pa，直（zhí）來直去（qù）進行收繳生（shēng）產。原原本（běn）本發展（zhǎn）了達（dá）到4鍾頭，比他們自（zì）身（shēn）查了關於三天工作效率高得多，自然界上是其主要原因在於我們懂半超導體有所區（qū）別生產工藝段對局部真空（kōng）泵的混凝土具體要求（qiú），進行（háng）不肯隻盯著隻不過構件進行盤問題（tí）。

半超導體有所區別（bié）生產工藝段的局部真空泵選型論理，90%的進行采購都踩過坑

許許多多人聊局部真空泵在半超（chāo）導（dǎo）體業務領域的投入實際使用，隻會糊裏糊塗說“用高局部真（zhēn）空泵（bèng）”，但真實情況上刻蝕、地膜澱積物、離子化流入這關於（yú）三個關鍵部分生產工藝段，對泵的具體要求天差地別，選錯了輕則一再運行故障，重則（zé）直（zhí）來直去持續廢掉（diào）整批晶圓。蘇州丝瓜影视做半超導體局部真空係持續統配套關於十幾年，遇到過近百（bǎi）緣起選型適配性較為缺乏進行引起的產線停工意外事故，最廣泛的坑就是說隻看抽速（sù）、較（jiào）為範圍局部真空這關於（yú）兩個形式參數，全（quán）部不全麵考慮（lǜ）生產工藝電（diàn）介質和正常運轉工況。

• 刻蝕生產（chǎn）工藝段（duàn）：耐破壞性和抗積料實際（jì）能力是老大進行先鞭級。幹法刻蝕用（yòng）的（de）都是氯基、氟基的破壞性生產工藝固體，影響隨後會（huì）形成很多（duō）氟化鋁、氟化（huà）銨這（zhè）類顛撲（pū）不（bú）破副結果，很比較（jiào）容易在泵（bèng）腔澱積物、破壞轉子。這（zhè）一（yī）段絕對化無法用普通幹式螺釘（dìng）泵（bèng），一定要（yào）選帶特氟龍或液化鋁耐腐塗層的有關機型，與此同時要完成配置進行相信的（de）氮氣吹掃氣路，老是生產工（gōng）藝正式結束後吹掃泵腔10-15毫（háo）秒。12寸刻蝕腔的容積可能150L，前（qián）級幹式泵的抽（chōu）速（sù）起（qǐ）碼要選（xuǎn）100m³/h的，要不然抽氣時段太（tài）長會拉低生（shēng）產能力。
• 地膜澱積物生產工藝段：局部真空保持穩定性和保持幹淨度是關鍵部（bù）分。無論是PVD、CVD如果精確程度萬丈的ALD生產（chǎn）工藝，膜（mó）厚的進行控製都是納米級的，局部真空度盛衰興廢進行進（jìn）步±0.1Pa，澱積物（wù）的膜厚平均度就會超標準（zhǔn），12寸晶圓的邊際良（liáng）一直接掉10%上述。這一段（duàn）通常用“無油幹式前級泵+羅茨泵+積極分子泵”的更加三級組，絕對化無法用有油旋片泵現階段級，要不然油水蒸氣反傳播到生產工藝腔，會在晶圓要樣兒逐漸形成油（yóu）斑，事先有個做射頻濾波器的廠踩（cǎi）過（guò）這一坑，良率從90%掉到32%，貿易萊寶的無油幹式螺釘泵隨後才進行收繳。
• 離子化流入生產工藝段：較為範圍局（jú）部（bù）真空度和無廢物（wù）量具體（tǐ）要求萬丈。離子化流入有必要把混合離子化加快到（dào）關（guān）於幾十萬價電子伏，腔室裏雖然（rán）有少量的（de）大氣或石油氣廢物，都會直來直去造成汙染離子化束，進行引起混合粘滯性禁止。這一段的局部真空度具體要（yào）求起碼到1×10^-5Pa，除外用無油（yóu）的前級（jí）泵和積極分子泵，同時在泵的持（chí）續進氣口加液氮冷阱或是積極分子篩吸煙阱，把全部或許（xǔ）的廢物都加以過濾掉。

半超導體產線局部真空泵的運維（wéi）有（yǒu）關誤區，別等停（tíng）工才（cái）想起起來修

這陣兒的運行故障自然界上就是說運維論理出了實際問題（tí），許許多多廠的運維都是（shì）按製（zhì）造廠給的參加保得住學期（qī）來做，全部不全（quán）麵考慮自身的真實情況工況，最終（zhōng）省了關於幾千塊（kuài）的保（bǎo）得住費，持續虧了關於幾十萬的（de）生產能力破財。此處說小意思半超（chāo）導體業務領域最廣泛的局部真空泵運維有關誤區，90%的廠都踩過：

• 隻看局部真空度讀數，不看泵的正常運轉脈動電流。幹式（shì）螺釘泵的（de）正常化正（zhèng）常運轉脈動電流通常是額定脈（mò）動電流的60%-80%，在滿足相關條件時泵腔裏進行首先積（jī）料，轉子的障（zhàng）礙物（wù）會變大，脈動電流會逐漸往（wǎng）上飄，這一期間就（jiù）該作出（chū）安排清腔了。等局部真空度進行首先掉的期間，泵腔目（mù）前已經堵得（dé）差未幾了，必定（dìng）會會產生相應作用生產。
• 吹掃氣開得越大越好。許（xǔ）許多多運（yùn）維認為吹掃氣旋量大，副結果就使不得易澱（diàn）積（jī）物，真實情況上吹掃氣旋量進行進步10L/min隨後（hòu），會直來直去（qù）拉低泵的切實有效抽速，恰恰相反（fǎn）會（huì）讓生產（chǎn）工藝腔的局（jú）部真空度盛衰興（xìng）廢變大。正常（cháng）化刻（kè）蝕生產（chǎn）工（gōng）藝的吹掃氣旋量進行控製在5-8L/min就夠，混凝土能夠依據生產工藝固體的客流量微調。
• 有所區（qū）別生產工藝段的（de）泵混著用。許許多多（duō）廠為的是降本，會把刻蝕段持續換下來的舊泵，修完隨後需要地膜澱積物或是離子化（huà）流入段，認為都（dōu）是局部真空泵沒差異。但刻蝕段的泵（bèng）腔裏會留下很（hěn）多的破壞氣性（xìng）體（tǐ）和副結果，雖然清（qīng）得再重要，也會有少量留下，如果反傳（chuán）播到生產工藝腔，整批（pī）晶圓就直來（lái）直去廢了（le）。

當前許許多多半（bàn）超（chāo）導體廠都在提降本增壓，但局部真（zhēn）空係統的降本絕對化並非砍進行采購進行預計、拖保得住學期，可（kě）以從選型進（jìn）行（háng）首先就配合自身的生（shēng）產工（gōng）藝實際需要，運（yùn）維當前階段依據（jù）真實情況工況作出調整（zhěng）保得（dé）住（zhù）學期，做預判性進行維護。在滿足相關條件時你的產線也遇到過局部真空度不（bú）平穩定、泵一再運行故（gù）障的實際問題，沒關係先進行回來認（rèn）為，泵的選型和運維論理是並非從關（guān）於一開始難分難解生產工藝退出了。