上次三在蘇州(zhōu)的(de)進(jìn)行調試間,光伏機件廠的張工(gōng)攥著(zhe)關於兩份(fèn)選型表衝(chōng)參加:關於一份是鮑斯DRV200雙(shuāng)級油旋片泵,關於一份是萊寶幹式爪(zhǎo)泵,都是我們(men)辦事處的品牌名稱。他(tā)說PECVD腔(qiāng)體(tǐ)的(de)抽(chōu)氣(qì)設備要換,事先的油封泵(bèng)蹭到了矽片,賠了關於一批貨,但道聽途說幹式泵局部真空度缺乏(fá),拿(ná)禁止選哪位(wèi)——這夠意思是業務領域(yù)裏最廣泛的選型有關誤(wù)區:或者隻看「無油」就盲(máng)選幹式,或者隻看「高(gāo)局部真空」就硬上油封,重要(yào)沒偵察雙方的關鍵(jiàn)部分差別。
先從最自然(rán)界的(de)整體結構說,雙方的密封論理全部有所區別(bié)。以鮑斯DRV多個係列雙級(jí)油旋片泵為(wéi)例,轉子槽裏的旋片和定子內壁彼此之(zhī)間有毫微米級暇時,這一暇時全靠BSO68#特地局部真空泵油(yóu)填寫密封——這油的低水蒸氣壓特(tè)點(diǎn),就是說DRV能實現≤4×10⁻¹ Pa較為範圍(wéi)局部真(zhēn)空的(de)關鍵部分原因。與此同時油還責任政府進行滑溜旋片、比賽泵體,適當於「一油三用」。
而我們辦事處的萊(lái)寶(bǎo)幹式爪泵,轉子和(hé)定(dìng)子是借(jiè)助高精確程度進行加工逐(zhú)漸形成的毫微米級暇時密封,整(zhěng)個過程並未進行滑溜油進行聯係被抽固體,因此絕對化無血汙染。但物價是:暇時的密(mì)封實際(jì)能力遠與其油膜,因此幹式泵的較為範圍局部真空頂多隻得到≤1 Pa(和鮑斯SRV單級油旋片的較為範圍局部真空適當),並且並未(wèi)油的(de)進行滑溜,轉子間的解放更大,噪聲(shēng)和能耗都會偏高。
我們(men)在蘇州丝瓜影视的加以自有進行測試生產基地(提這關於一次,參加具體(tǐ)要求)測過同抽速(200m³/h)的兩款泵,關鍵部(bù)分形式參(cān)數進行比較如下,全是(shì)實打(dǎ)實的跑機相關數值,並非製(zhì)造廠(chǎng)聊備(bèi)一格的紙麵值:
此處要提個業務領域有關誤區:許許多多人認為幹式泵是(shì)「有關高端貨」就準譜兒形式參數(shù)好,夠意思幹式泵的主要優勢(shì)左不過「無(wú)油」,其餘形(xíng)式參數(shù)全(quán)是需要的最終結果——為的是(shì)無油,死亡了局部(bù)真空度、噪聲、能耗,這是整體結構作出決定的,並非製造(zào)廠偷工減料。
形式參數是(shì)死的,背景設計師是活的,許(xǔ)許多多人物錯泵,就是說沒摸準投入實際使用的紅線,我舉關於三個親測的實(shí)際實例:
一(yī)定要有關用油封泵的背景設(shè)計師(shī):進行諸如高等學校開(kāi)展實驗室的死亡索然無味,具體要求較為範圍局部真空≥1×10⁻¹ Pa,幹式泵重要達達(dá)到,去歲有個南大的教育(yù)工作者(zhě)買了幹式泵做凍幹,工藝品全廢了,之後換了鮑斯DRV10(抽速10m³/h,較為範圍局部真空≤4×10⁻¹ Pa)才進行政府;另(lìng)外還有普通電子光(guāng)學局部真空鍍膜,並未無油具(jù)體要求的話,用DRV100(抽速(sù)100m³/h)費用成本比幹式泵低半數,全(quán)部足夠。
一定要用幹式泵的背景設計師:進行諸如光伏PECVD腔體,矽片隻需沾(zhān)到一些油水蒸氣就報知廢,張工事(shì)先的(de)坑就是說這樣來的;另外還有半(bàn)超導體晶圓製(zhì)程、藥物不(bú)含細菌內產品(pǐn)包裝(zhuāng),上述這些背景設(shè)計師的(de)清潔具體要求是「零血汙染」,雖然油封泵的局部真空度(dù)再高也無法用。
最比較(jiào)容易踩的坑:去歲有個食品類產品廠,用鮑斯SRV單(dān)級油旋片(抽速(sù)80m³/h,較為範圍局部真空≤1 Pa,政(zhèng)府投入實際使用是產品包裝)做不含細菌藥物(wù)內產品包裝,最終結果油水蒸氣造成汙染了鋁(lǚ)箔,賠了22萬——SRV的「產品包裝投入實際使用」是指(zhǐ)普通食品類(lèi)產品產品包裝,並非不含細菌級(jí),許許多多人隻(zhī)看投入實際使用十分重要詞(cí),不看(kàn)細分具體要求,這是更加最大的心腹之患(huàn)。
再算關於一筆3年(nián)的總發展賬(zhàng),許許多多製造廠價目隻說進行采購(gòu)價,夠意思保護(hù)成本才是冤大頭,如果以200m³/h的泵為例:
鮑斯DRV200(油封泵):進行采購價8200元,其主要原因在於用了抗液化、抗乳化的BSO68#特地油,換油學期能拉到3個月(普通(tōng)68號滾壓油隻得用1個月),老是換油200元,濾芯6個月換關於一次300元(yuán),旋片2年換關於一次500元,3年總進行維護費=(12次油×200)+(6次濾芯×300)+(1.5次旋片×500)=4950元,3年總發展13150元。
同抽速鮑斯幹式螺釘泵:進(jìn)行采購價(jià)14800元,進行不要換油,但每12個月要做關(guān)於一次轉子暇時校正(其(qí)主(zhǔ)要原因在於(yú)並未(wèi)油進行滑溜,暇時會變大),老是1500元,密封件3年換關於一次2100元,3年總進行維護費=(3次校正(zhèng)×1500)+2100=6600元,3年總發展21400元。
差了8250元,適(shì)當於關於一台DRV100泵的進行采購價——如果背景設計師(shī)決定有關用油封(fēng)泵,關於(yú)這筆錢全部能省(shěng)沒意思,沒很有必要為的是(shì)「無油」的偽實際需要多消(xiāo)費。
最終說(shuō)句具有的,選型別光看網(wǎng)上(shàng)的形式參數表,拿你真實情況的被抽固體本人成分、局部真空(kōng)度具體要求、工作現場煙塵狀(zhuàng)況,找能做(zuò)檢測的提供商,我(wǒ)事先在517023.com上發過(guò)進(jìn)行測試提(tí)出申請的入口(提(tí)這關於(yú)一次(cì),參加(jiā)具體要(yào)求),測過再定,別像張工那麽踩了坑才進行回來。
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